محتوي الكلمة

(الْفَاءُ) حَرْفٌ رَابِطٌ مَبْنِيٌّ عَلَى الْفَتْحِ، وَ﴿إِيَّايَ﴾ ضَمِيرٌ مُنْفَصِلٌ مَبْنِيٌّ عَلَى السُّكُونِ فِي مَحَلِّ نَصْبٍ مَفْعُولٌ بِهِ لِفِعْلٍ مَحْذُوفٍ يُفَسِّرُهُ الْمَذْكُورُ بَعْدَهُ.

إياي: ضمير نصب منفصل للمتكلم المفرد.

حمزة قرأ بتحقيق الهمزة وصلاً، ووقف بتسهيل وتحقيق الهمزة.باقي الرواة قرؤوا بتحقيق الهمزة وصلاً ووقفا.
عند الوصل
لا خلاف بين القراء في هذا الموضع

{إِيَّايَ}: اسْمٌ مَبْنِيٌّ.